Fluormodifizierte Siloxane werden zu Produkten, die sehr beständig gegenüber Kohlenwasserstoffen, Ester und Oxidation sind. Zudem sind sie in weiten Temperaturbereichen (-60°C bis 290°C) einsetzbar. Fluorsilikone haben keine Methylgruppen an ihren Siloxanketten, sondern Fluoralkydgruppen. Dadurch sind sie noch temperatur- und oxidationsbeständiger als alle anderen Siloxane (PMPS). Sie kommen in Form von Ölen, Fetten und Pasten vor. Fluore-Siloxane werden unter anderem als Schmiermittel für extreme Temperaturen, Entschäumer, Kompressor- und Hydrauliköle verwendet.
Vor allem Polymethyltrifluorpropylsilicone haben als Fluorsilicon-Kautschuke (Kurzbezeichnung MFQ oder FMQ) technische Bedeutung erlangt. Sie werden als Ausgangsprodukte für Vulkanisate mit außergewöhnlich hoher Beständigkeit gegenüber Kraftstoffen, Ölen und Chemikalien eingesetzt.
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